干式真空泵是相對液環(huán)泵而言,泵的工作腔內不需要密封冷卻液而得名。干式真空泵由于沒有密封液,且排氣壓力大于大氣壓,就可以在排氣側對排出的氣體進行冷凝。
干式真空泵有活塞式、羅茨泵、爪式和雙螺桿式等。干式螺桿真空泵具有運行效率高、壽命周期長和成本低的優(yōu)點,已逐漸成為應用最廣泛的干式真空泵。
干式螺桿真空泵的轉子是一對間隙很小且互不接觸的螺桿,通過同步齒輪變速后,推動氣體向出口運動。它的優(yōu)點是:
1、可以在大氣壓和極限真空下全速運行;
2、單級可以達到較高的真空度,極限壓力可以<10Pa;
3、泵工作腔內沒有油或水接觸工藝氣體;
4、轉子互不接觸,減少了磨損;轉子可以鍍氟、鎳等防腐層;
5、泵內氣體通道短,可以快速排氣;
6、既可以單獨運行,也可以作為前級泵運行。
干式螺桿真空泵有等螺距和變螺距兩種,又稱外部壓縮螺桿和內部壓縮螺桿。變螺距螺桿泵與等螺距螺桿相比,排氣溫度更低,效率更高。
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