等離子清洗機又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合。

　　等離子清洗機的種類

　　等離子清洗機根據使用環(huán)境的不同，主要可以分為以下幾款類型：噴射型等離子清洗機、旋轉型等離子清洗機、真空等離子清洗機、在線式等離子清洗機、常壓等離子清洗機、大氣旋轉噴頭等離子清洗機、智能集成等離子處理系統(tǒng)等。

　　等離子清洗機的作用

　　金屬器材表面附著有油脂、油污等有機物和氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，通過等離子清洗機處理可以獲得潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗可以除去器材表面細小的油膜、銹跡或其他油類污物，而且在等離子清洗后，不會在器材表面留下殘余物。

　　等離子清洗機的原理

　　在經過低溫等離子體表面處理后，材料表面會發(fā)生多種物理、化學變化?？捎糜谇宄蓟瘹漕愇畚铮缬椭o助添加劑等，或產生刻蝕而粗糙，或形成致密的交聯層，或引入含氧極性基團（羥基、羧基），通過等離子體處理得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

　　在同樣效果下，應用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于粘合、涂覆和印刷，不需其他機器、化學處理等強烈作用成份來增加粘合性。

　　等離子表面清洗機的優(yōu)勢

　　1、清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個工藝流水線的處理效率。

　　2、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題。

　　3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，在等離子清潔后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于綠色環(huán)保型清洗方法。

　　4、采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀，而且對這些難清洗部位的清洗效果相對于傳統(tǒng)氟利昂清洗的效果會更好。

　　5、等離子清洗機可以有效提高清洗效率，整個清洗流程在短短的幾分鐘內即可完成，因此具有產率高的特點。

　　6、等離子清洗需要控制的真空度大約為100Pa，這種清洗條件很容易達到，因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝。

　　7、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛(wèi)生。

　　8、等離子體清洗機可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理，因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質，而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗。

　　9、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應用中都是非常重要的。

　　等離子表面清洗機的應用領域

　　1、半導體集成電路及微電子產業(yè)。

　　2、LCD液晶/LED封裝,PCB線路板制造。

　　3、等離子清洗機生物醫(yī)療材料表面改性修飾。

　　4、精密儀器、機械及電氣制造。

　　5、等離子處理機聚合物薄膜、紡織纖維改性處理。

　　6、APR大氣等離子清洗機手機觸摸屏、平板電腦玻璃蓋板清洗活化。

　　7、等離子表面處理器用于汽車制造、橡膠塑料產業(yè)。

　　8、適用于實驗室科研、小批量生產，小部件納米清洗、表面活化、表面改性或PCB制造、半導體LED制造、TSPOLED設備、真空等離子噴涂系統(tǒng)等工業(yè)應用領域。